ШИРШОВА ВАЛЕНТИНА АЛЕКСАНДРОВНА

  Сущность изобретения: на пленки на основе поли-п-ксилилена в вакууме воздействуют излучением СО-лазера, затем возбуждают тлеющий разряд в среде продуктов распыления ; причем перед началом распыления в камеру вводят вспомогательный плазмообразующий газ, например аргон или тетрафторэтияен, до достижения давления 1,4...20 Па. После этого зажигают тлеющий разряд в пространстве между...