КОЛПАКОВ ВИКТОР НИКОЛАЕВИЧ

  Использование: измерительная техника, измерение параметров движения. Сущность изобретения: в корпусе 2 установлена мембрана 1 с жестким центром, выполненная из монокристаялического кремния. На поверхности упругой части мембраны 1 сформирована тензорезистивная область 7 в виде замкнутой полосы, конфигурация внешнего контура которой совпадает с конфигурацией внешнего контура мембра...