ШУЛЕЙКО ИГОРЬ БОРИСОВИЧ

  Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике. Его использование при изготовлении прецизионных фотошаблонов СБИС позволяет повысить точность и расширить функциональные возможности за счет оперативного контроля генерируемых изображений. Это достигается благодаря прямому измерению распределения освещенности в световых пятнах, т. е. исключению цикла экспонирования и пр...