Серянов Ю.В.

 Изобретение относится к лазерной технологии изготовления гибридных интегральных схем. Сущность изобретения: лазерную прошивку отверстий осуществляют в подложке, погруженной в раствор активации, содержащий хлорид тяжелого металла, до совпадения поверхности подложки с зеркалом раствора. После прохождения последнего прошивочного импульса раствор затекает в устье канала отверстия и под кратко...