ШАНДЫБИНА ГАЛИНА ДМИТРИЕВНА

  Использование: в микроэлектронике при изготовлении фотошаблонов интегральных схем, тонкопленочных элементов печатных плат и т.п. Сущность изобретения: предварительно совмещают лазерный пучок с изображением дефекта в плоскости экрана, тогда в плоскости обработки лазерный пучок в силу закона обратимости окэзывается совмещенным с дефектом. Для этого в устройство введено селективное...