ГОНЧАРОВ ИГОРЬ НИКОЛАЕВИЧ

  Использование: в измерительной технике . Сущность: перед нанесением окиси кремния на подложке из кремния п-типа проводимости вытравливают локальную область чувствительного элемента площадью S и высотой I, по всей поверхности подложки с помощью молекулярной эпитаксии выращивают эпитаксиальный слой с п-типом проводимости, с помощью фотолитографии формируют чувствительный элемент, п...