УШАХИН ВАЛЕНТИН АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к микроскопии и может быть использовано в растровой электронной и оптической микроскопии, а также в электроннои ионнолучевой литографии . Цель изобретения - расширение функциональных возможностей способа за счет определения параметров фокусировки электронного зонда. Сущность изобретения: после калибровки увеличения формируют изображение муаровых картин при м...