Клименков В.В.

 Использование: микроэлектроника, для формирования микрорисунка в диэлектрических слоях. Цель: повышение качества травления за счет уменьшения вероятности загрязнения поверхности нижележащего слоя. Сущность изобретения: газовая смесь для селективного сухого травления диэлектрических слоев содержит, об. %: гептафторпропан 15-50; кислород 2,6-11,0; гелий - остальное. 1 табл. Изобретение отно...