ЯНИНА НАТАЛЬЯ ВЛАДИМИРОВНА

  Использование: в микроэлектронике при контроле качества герметизации полупроводниковых изделий и интегральных схем полимерными покрытиями. Сущность изобретения: при определении пористости на подложку наносят сначала резистивный слой вакуумным напылением, затем наносят полимерное покрытие. Далее погружают образец в раствор, содержащий азотную и фтористоводородную кислоты в соотнош...