ЧИКИРИСОВА ТАТЬЯНА НИКОЛАЕВНА

  Область использования: в микроэлектронике . Сущность изобретения: позитивный термостойкий фоторезист содержит, мас.%: крезолоформальдегидная смола новолачного типа 19,45-23,1: смесь 1,2-нафтохинондиазид- (2)-5-сульфоэфир метиленбис-{2,4)-диоксибензофенона 4.4-8,24: 1,2- нафтохинондиазид-(2)-5-сульфоэфир 2,4-диоксибензофенона 2.06-2,2 или смесь 1,2-нафтохинондиазид-(2)-5-сульфоэфи...

  Область использования: в микроэлектронике . Сущность изобретения: позитивный фоторезист содержит, мас.%: крезолоформальдегидная смола новолачноготипа марки СФ-142Б 18,1-21,75; 1.2-нафтохинондиазид-(2)-5-сульфоэфира 2,4-диоксибензофенона, 3,7- 5,3: 1.2-нафтохинодиаэид-{2}-5-сульфоэфир 2.2 , 4,4 -тетраоксибензофенона 3.8-5,4 или смесь 1,2-нафтохинондиаэид-(2)-5-сульфоэфир 2,4-диокс...