АСКЕРОВ ДЖАМЕДИН БЕХЛЮЛОВИЧ

  Область использования: в микроэлектронике . Сущность изобретения: позитивный фоторезист содержит, мас.%: крезолоформальдегидная смола новолачноготипа марки СФ-142Б 18,1-21,75; 1.2-нафтохинондиазид-(2)-5-сульфоэфира 2,4-диоксибензофенона, 3,7- 5,3: 1.2-нафтохинодиаэид-{2}-5-сульфоэфир 2.2 , 4,4 -тетраоксибензофенона 3.8-5,4 или смесь 1,2-нафтохинондиаэид-(2)-5-сульфоэфир 2,4-диокс...