ШМИТКИН ОЛЕГ МАРКОВИЧ

  Использование: микроэлектроника, технология изготовления высоковольтных приборов . Сущность изобретения: при изготовлении высоковольтных р-п-переходов в кремнии на кремниевую пластину наносят диффузант. содержащий алюминий и олово в соотношении, мае.ч: 0.006 5п02/А12(МОз)з 0,04, проводят загонку примеси, наносят диффузант, содержащий бор, и затем проводят совместную диффузию. Спо...