ТОКАРЕВ ВАСИЛИЙ СЕРГЕЕВИЧ

  Назначение: электровакуумная техника. Сущность изобретения: осуществляют очистку импульсным тлеющим разрядом. Сначала в среде воздуха при давлении 13,3 - 53,2 Па, температуре 50 - 150°С и одновременном воздействии вибрации с частотой, превышающей 20 Гц, затем в среде водорода при давлении 133 - 1330 Па и температуре , превышающей 300°С, и в среде аргона при давлен...