БАЙКУЛОВ ХАЛИС ХИСАЕВИЧ

  Изобретение относится к производству электронной техники и может быть использовано в технологии изготовления интегральных схем. Сущность изобретения: пластину скрайбируют и прикладывают к ней одновременно тепловое и механическое воздействие, причем тепловое воздействие осуществляют путем создания градиента температуры. Для кремниевых пластин градиент температурного поля выбирают...