Крыжановский Д.В.

 Использование: изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления стабильных тонкопленочных резисторов ГИС и микросборок. Цель изобретения - повышение точности и временной стабильности номиналов тонкопленочных резисторов - достигается тем, что способ изготовления тонкопленочных резисторов включает в себя осаждение в вакууме на диэлектрическую подл...