Бреслер Г.И.

  Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам диффузии фосфора при изготовлении силовых полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: способ диффузии фосфора из твердого источника предназначен для повышения выхода годных полупроводниковых приборов с высоколегированными диффузионными областями n-типа за счет исключения загрязнения металлическими примесями формиру...