Грушецкий С.В.

 Использование: электронная техника, создание интегральных схем, обработка объектов с нанесенными на них пленками, обработка массивных алюминиевых деталей. Цель: увеличение скорости и равномерности травления. Сущность изобретения: под действием энергии сверхвысокочастотного поля разряд, созданный импульсами постоянного тока, перемещается относительно поверхности объекта травления, при этом...

 Использование: плазменная техника, электронная, радиотехническая и приборостроительная промышленность при создании интегральных схем, оптоэлектронных и оптических приборов, а также при обработке больших поверхностей стекол зеркал или линз. Сущность изобретения: система возбуждения электромагнитного поля в сверхвысокочастотном разрядном устройстве выполнена в виде двух гребенчатых структур...