Ширипов В.Я.

  Использование: изготовление тонкопленочных электролюминесцентных индикаторов и панелей, работающих на постоянном или переменном токе. Цель: повышение эксплуатационной надежности изделий. Сущность изобретения: диэлектрические и электролюминесцентный слои осаждают при вращении подложки в собственной плоскости, причем угол падения конденсируемого потока выбирают в диапазоне 75-85° относител...