ЛЮБИМСКИЙ ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ

  Использование: в измерительной технике для измерения давлений жидкостей и газов в интервале температур 20-300°С без введения дополнительных средств компенсации температурной зависимости выходного сигнала датчика давления. Сущность изобретения: тензопреобразователь мембранного типа, в котором на окисленной кремниевой подложке 1 выращены поликремниевые тензорезисторы 2, сое...