ВЕРЕЩАГИН АРКАДИЙ АНДРЕЕВИЧ

  Область применения: для сушки, чистки или травления полупроводниковых пластин. Сущность изобретения: в установке, имеющей ванну для рабочей жидкости, нагреватель , погруженный в рабочую жидкость, держатель для изделий, паровой конденсатор, дополнительно содержатся съемная крышка , герметизирующая ванну с рабочей жидкостью , управляемый клапан между держателем и поверхностью рабоч...