ИНОЗЕМЦЕВ ГЕННАДИЙ МАРКОВИЧ
Изобретатель ИНОЗЕМЦЕВ ГЕННАДИЙ МАРКОВИЧ является автором следующих патентов:
Способ изготовления полевых транзисторов на арсениде галлия
Использование: микроэлектроника, технология изготовления полевых транзисторов на арсениде галлия с затвором субмикронной длины. Сущность изобретения: после формирования омических контактов на структуре арсенида галлия с рабочим и контактным слоем наносят слой диоксида кремния пиролитическим разложением тетрээтоксисилана. затем наносят слой нитрида кремния магнетронным способом ,...
1831731