БАТУЕВ БУДА-ШИРАП ЧИМИТОВИЧ

  Изобретение относится к конструкции пленарных магнетронов и позволяет в одном технологическом цикле.осуществлять ионное перемешивание наращиваемых магнетронным распылением пленок, ионно-индуцированное напыление, выращивание тонких пленок многослойных покрытий и р- n-структур. Устройство содержит основную кольцевую мишень магнетрона и дополнительную конусную мишень. Через рупорное...