ЕГОРОВ ФЕДОР АНДРЕЕВИЧ

  Использование: технология полупроводниковых материалов, а именно получение пленок диоксида ванадия. Сущность изобретения: способ позволяет повысить воспроизводимость физических параметров , производительность процесса, а также обеспечивает высокую адгезию пленок диоксида ванадия к кварцевому стеклу. Для получения пленок используют испарение ванадийсодержащего органического соедин...