ПАНОВ ВЛАДИМИР ДАНИЛОВИЧ

  Использование: в микроэлектронике, в частности к устройствах для очистки и отмывки пластин. Сущность изобретения: устройство содержит центрифугу с приводом вращения и столиком, узел подачи моющей жидкости, щетку с приводом вращения вокруг собственной оси и приводом возвратнопоступательного перемещения, блок размещения пластин на рабочей позиции. Блок размещения обрабатываемых пла...