ЛИХОДЕД ИВАН ИВАНОВИЧ

  Использование: при глубокой очистке хлорсиланов, предназначенных для производства полупроводникового кремния . Сущность изобретения: смешивают потоки влажного инертного газа и пары исходных хлорсиланов в кубе ректификационной колонны при скоростях, обеспечивающих соотношение критериев Рейнольдса в пределах , проводят ректификацию при молярном отношении потоков конденсата и инертн...