ДИУЛЬСКИ МИХАИЛ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано для очистки подложки перед напылением. Сущность изобретения: источник плазмы представляет собой гребенчато расположенные электроды, изготовленные из трубок , расположенных перпендикулярно относительно горизонтальной трубки и имеющие скосы, расположенные симметрично, где электрод тлеющего разряда имеет вер...