ЭЙВИНН СЕРЛИ

  Использование: в качестве сырья при изготовлении кремниевых транзисторов. Сущность изобретения: трихлормоносилан получают при взаимодействии кремниевого порошка фракции 50-350 мкм, полученного газовым распылением расплавленного кремния, с газообразным хлористым водородом в псевдоожиженном слое при 290°С. 1 табл. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (5!)5 С,01 В...