Шурчков Игорь Олегович (RU)
Изобретатель Шурчков Игорь Олегович (RU) является автором следующих патентов:
![Способ изготовления диэлектрической изоляции элементов интегральных схем Способ изготовления диэлектрической изоляции элементов интегральных схем](/img/empty.gif)
Способ изготовления диэлектрической изоляции элементов интегральных схем
Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности, а именно, к производству больших интегральных схем с боковой диэлектрической изоляцией. Сущность: способ включает формирование скрытых слоев в полупроводниковой подложке, наращивание эпитаксиальной пленки, нанесение маскирующих слоев, вытравливание канавок в эпитаксиальной пленке, формирование противоканальных р+ -стопорных об...
1840163