Маклецов В.Г. (RU)

 Изобретение относится к области получения полупроводниковых слоев и пленок и может быть использовано в радиоэлектронной технике. Получают оксид палладия из расплава. Подложку из палладия электрохимически анодно обрабатывают в расплаве хлоридов щелочных металлов с добавкой оксида бария. Процесс ведут при 500-600°C. Изобретение позволяет получить плотную полупроводниковую пленку заданн...