НОВАК Матью (US)

Изобретение относится к многоуровневым интегральным схемам, более точно к системам и методам активного терморегулирования в многоуровневых интегральных схемах. Сущность изобретения: в устройстве интегральной схемы, содержащем уровень с активными схемами и термоэлектрическим устройством, термоэлектрическое устройство сформировано внутри сквозных соединений в слое упомянутого уровня и облегчает теп...