МЕЙЕР Нико (DE)

Изобретение относится к устройству и способу осаждения одного или более тонких слоев полипараксилилена. Устройство содержит нагреваемый испаритель, используемый для испарения твердого или жидкого исходного материала. Труба подвода газа-носителя проходит в упомянутый испаритель. Газ-носитель переносит испаренный исходный материал, в частности испаренный полимер, в камеру пиролиза, которая располо...