Шепталина Светлана Владиславовна (RU)

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при изготовлении микромеханических гироскопов для измерения угловой скорости. В способе изготовления микромеханического вибрационного гироскопа механическую структуру с крестообразными торсионами формируют из пластины монокристаллического кремния методом анизотропного травления. Анизотропное травление кремния проводят в два...