Куликов Александр Михайлович (RU)

Изобретение относится к устройствам для удержания полупроводниковых пластин во время транспортировки в процессе изготовления. Сущность изобретения: кассета для групповой транспортировки полупроводниковых пластин содержит четыре фторопластовых стержня с пазами и два крепления с торцов стержней, каждый из четырех стержней представляет собой фторопластовую трубу с плотной резиновой вставкой по всей...

Изобретение относится к устройствам для удержания полупроводниковых пластин во время транспортировки в процессе изготовления. Сущность изобретения: кассета для групповой транспортировки полупроводниковых пластин содержит четыре фторопластовых стержня с пазами и два крепления с торцов стержней, каждый из четырех стержней представляет собой фторопластовую трубу с плотной резиновой вставкой по всей...