Шикин Семен Аркадьевич (RU)

Изобретение относится к нанотехнологии и сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к устройствам, позволяющим получать информацию о топографической структуре образца, локальной жесткости, трении, а также об оптических свойствах поверхности в режиме близкопольного оптического микроскопа. Сканирующий зондовый микроскоп включает платформу с блоком предварительного сближения, пьезосканер,...