Иванов Владимир Витальевич (RU)

Группа изобретений относится к устройству и способу для генерации мощного оптического излучения, в частности, в области экстремального УФ (ЭУФ) или мягкого рентгеновского излучения в диапазоне длин волн примерно от 1 нм до 30 нм. Область применения включает ЭУФ - литографию при производстве интегральных схем или метрологию. Технический результат-повышение мощности пучка оптического излучения. В...

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для шлифования, полирования и упрочнения поверхностного слоя деталей в свободно гранулированной абразивной среде. Устройство содержит установленный на станине барабан в виде винтовой многозаходной колонны со средствами для загрузки и выгрузки деталей. Барабан изготовлен из секций с образованием по внутреннему периметру направленных...

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для отделочно-зачистной и упрочняющей обработки деталей в свободном состоянии с использованием химических растворов. Станок содержит установленный горизонтально на станине барабан, выполненный с многозаходной винтовой поверхностью, средства его загрузки и выгрузки и привод вращения. Барабан выполнен по периметру с винтовыми канавка...

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для шлифования, полирования и упрочнения поверхностного слоя деталей. Устройство содержит многосекционный барабан, связанный с приводом и загрузочным и разгрузочным приспособлениями и установленный упруго на станине. Барабан выполнен в виде ломаного тоннеля спиральной формы с треугольным проходным сечением. Каждая секция барабана...

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для отделочно-зачистной и упрочняющей обработки деталей в свободном состоянии. Устройство содержит установленный на станине галтовочный барабан, средства для загрузки и выгрузки деталей и привод его вращения. Барабан установлен горизонтально и выполнен из трех или более полос трапециевидной формы с разными размерами по ширине, на к...

Изобретение обеспечивает создание коммерчески доступного источника ЭУФ излучения для ЭУФ метрологии и актинической инспекции литографических ЭУФ масок. Реализуется за счет использования лазерной мишени в виде непрерывной струи жидкого лития (1), циркулирующего через зону взаимодействия по замкнутому контуру (9) посредством высокотемпературного насоса (11). Коллекторное зеркало (7) размещено снаруж...