Гаврилова Татьяна Александровна (RU)
Изобретатель Гаврилова Татьяна Александровна (RU) является автором следующих патентов:
Способ изготовления диэлектрического слоя
Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов и может быть использовано для изготовления микроболометрических матриц неохлаждаемых фотоприемников ИК диапазона. В способе на подложку осаждают слой диэлектрика из газовой смеси, содержащей компоненты, необходимые для образования диэлектрика - оксинитрида кремния. Газовую смесь в неизотермическом режиме пропускают через...
2498445