ШТЁКЛИНГЕР Роберт (DE)
Изобретатель ШТЁКЛИНГЕР Роберт (DE) является автором следующих патентов:
![Реактор для получения поликристаллического кремния с использованием моносиланового метода Реактор для получения поликристаллического кремния с использованием моносиланового метода](https://img.patentdb.ru/i/200x200/bf86669dc88832faf3a1b714dcf6c0ca.jpg)
Реактор для получения поликристаллического кремния с использованием моносиланового метода
Изобретение относится к реактору для получения поликристаллического кремния с использованием моносиланового метода. Реактор (10) содержит днище (2), в котором имеется множество форсунок (4), через которые в реактор поступает кремнийсодержащий газ, множество также установленных на днище (2) реактора стержней (6), находящихся на расстоянии от форсунок (4), и выпускное отверстие (8) для газа, предн...
2501734