ВАН ЛИЕР Вильгельмус Йоханнес Робертус (US)

Заявленная группа изобретений относится к измерительной технике, в частности к способу и устройству для измерения пороговых напряжений в устройствах МЭМС. Способ измерения порогового напряжения устройства на основе микроэлектромеханических систем, согласно которому к устройству прикладывают перепады напряжения и измеряют количество заряда, переданного на устройство при приложении по меньшей мере...