Васильев Александр Леонидович (RU)
Изобретатель Васильев Александр Леонидович (RU) является автором следующих патентов:
![Тестовый объект для калибровки просвечивающих электронных микроскопов Тестовый объект для калибровки просвечивающих электронных микроскопов](https://img.patentdb.ru/i/200x200/2073c0dafae9dfdc7f00a024b77fa8b4.jpg)
Тестовый объект для калибровки просвечивающих электронных микроскопов
Изобретение относится к области калибровки просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ) при измерениях в нано- и субнанометровом диапазонах. Тестовый объект выполнен в виде держателя образцов с несколькими местами крепления исследуемых объектов, в одном из которых расположена эталонная структура, выполненная в виде тонкого поперечного среза кремниевой структуры с периодической рельефной поверхно...
2503080![Способ количественной трехмерной реконструкции поверхности кремниевых микро- и наноструктур Способ количественной трехмерной реконструкции поверхности кремниевых микро- и наноструктур](https://img.patentdb.ru/i/200x200/293d2040ac615e45b6da5e0ce44fa49a.jpg)
Способ количественной трехмерной реконструкции поверхности кремниевых микро- и наноструктур
Изобретение относится к области растровой электронной микроскопии. В изобретении используется принцип фотограмметрической обработки изображений, полученных в растровом электронном микроскопе при различных углах наклона исследуемого объекта. Сущность изобретения: исследуемая кремниевая структура предварительно подвергается плазменной обработке при помощи высокочастотного разряда пониженного давлени...
2622896