PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Митюхляев Виталий Борисович (RU)

Изобретатель Митюхляев Виталий Борисович (RU) является автором следующих патентов:

Тестовый объект для калибровки просвечивающих электронных микроскопов

Тестовый объект для калибровки просвечивающих электронных микроскопов

Изобретение относится к области калибровки просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ) при измерениях в нано- и субнанометровом диапазонах. Тестовый объект выполнен в виде держателя образцов с несколькими местами крепления исследуемых объектов, в одном из которых расположена эталонная структура, выполненная в виде тонкого поперечного среза кремниевой структуры с периодической рельефной поверхно...

2503080

Способ количественной трехмерной реконструкции поверхности кремниевых микро- и наноструктур

Способ количественной трехмерной реконструкции поверхности кремниевых микро- и наноструктур

Изобретение относится к области растровой электронной микроскопии. В изобретении используется принцип фотограмметрической обработки изображений, полученных в растровом электронном микроскопе при различных углах наклона исследуемого объекта. Сущность изобретения: исследуемая кремниевая структура предварительно подвергается плазменной обработке при помощи высокочастотного разряда пониженного давлени...

2622896

Способ количественной трехмерной реконструкции поверхности образца в растровом электронном микроскопе

Способ количественной трехмерной реконструкции поверхности образца в растровом электронном микроскопе

Изобретение относится к области растровой электронной микроскопии. В изобретении используется принцип фотограмметрической обработки изображений, полученных в растровом электронном микроскопе при различных углах наклона исследуемого образца. На поверхности исследуемого образца предварительно формируются структурные элементы сферической формы, создающие контраст на изображении, результаты фотограмме...

2657000