PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Шабакин Владимир Павлович (RU)

Изобретатель Шабакин Владимир Павлович (RU) является автором следующих патентов:

Испаритель для вакуумного нанесения тонких пленок металлов и полупроводников

Испаритель для вакуумного нанесения тонких пленок металлов и полупроводников

Изобретение относится к технологии нанесения тонких пленок, а именно к испарителям, и может быть использовано для напыления пленок из драгоценных металлов и сплавов. Технический результат - повышение гравитационной стабильности расплава, уменьшение разбрызгивания, увеличение эффективной поверхности смачивания, улучшение диаграммы направленности и уменьшение неконтролируемого угла разлета напыляе...

2507304