ШТАЙН ФОН КАМИНСКИ Элард (DE)

 Изобретение относится к способу изготовления энергонезависимой полупроводниковой запоминающей ячейки (SZ) с отдельной ячейкой (ТF) с туннельным окном, причем туннельную область (TG) с использованием ячейки (ТF) с туннельным окном в качестве маски выполняют на позднем этапе туннельной имплантации (IТ). Технический результат: получение запоминающей ячейки с небольшой потребностью в площади...