САКАСЕГАВА Такеши (JP)

Регулятор потока (10) содержит датчик расхода потока (14), имеющий чувствительный элемент (12), который измеряет расход потока, и блок управления расходом потока (18), который подсоединен к этому датчику расхода потока (14) и позволяет регулировать расход упомянутого потока. Сенсор (38), на котором построен этот чувствительный элемент (12), состоит из теплового сенсора потока, использующего техн...