Кудряшов О.Ю.

 Изобретение относится к микроволновым СВЧ-плазменным реакторам с увеличенным объемом плазмы и может быть использовано при производстве изделий электронной техники и др. Технический результат - увеличение вкладываемой в разряд СВЧ-мощности, рабочего давления в разрядной камере, диаметра обрабатываемой детали, а также повышение надежности и производительности устройства. Узел ввода СВЧ-энер...