Гребнева Юлия Юрьевна (RU)
Изобретатель Гребнева Юлия Юрьевна (RU) является автором следующих патентов:
Способ изготовления мдм-катода
Способ изготовления МДМ-катода предназначен для повышения плотности тока эмиссии и однородности ее распределения по поверхности. На подложку последовательно осаждается металлический нижний электрод на основе пленки молибдена, затем два слоя резистов, в которых формируется рисунок с помощью электронно-лучевой литографии, затем напыляется сплошная пленка молибдена. Наноострийная структура получает...
2521610