Копелиович Михаил Борисович (RU)

Изобретение относится к микросистемной технике для создания электростатически управляемых микромеханических резонаторов для датчикопреобразующей аппаратуры и микрореле для коммутации СВЧ и НЧ аналоговых электрических цепей. Система содержит микромеханический исполнительный элемент, микроэлектронный преобразователь постоянного тока, вибрирующий элемент в виде миниатюрного пьезоэлектрического резо...