Янович Сергей Игоревич (RU)
Изобретатель Янович Сергей Игоревич (RU) является автором следующих патентов:
Способ формирования многоуровневых медных межсоединений интегральных микросхем с использованием вольфрамовой жесткой маски
Изобретение относится к технологии изготовления сверхбольших интегральных схем (СБИС) в части формирования многоуровневых металлических соединений. Способ формирования многоуровневых медных межсоединений СБИС по процессу двойного Дамасцена через двухслойную жесткую маску включает нанесение слоя изолирующего диэлектрика на пластину, в теле которого будут формироваться проводники многоуровневой ме...
2523064Интерпозер и способ его изготовления
Изобретение относится к технологии изготовления интегральных микросхем в части формирования интерпозера для объемной сборки нескольких чипов в единую микроэлектронную систему и процесса его изготовления. Изобретение направлено на снижение воздействия градиентов температур и связанных с ними механических напряжений, возникающих в теле интерпозера при работе интегральной микроэлектронной системы....
2584575