Сарайкин Владимир Васильевич (RU)
Изобретатель Сарайкин Владимир Васильевич (RU) является автором следующих патентов:
Способ создания мелко залегающих наноразмерных легированных слоев в кремнии
Изобретение относится к области технологии микроэлектроники и может быть использовано для получения тонкого легированного примесью слоя в кремнии для создания мелко залегающих p-n-переходов. Предложенное изобретение решает задачу упрощения технологии с одновременным улучшением качества создаваемых мелко залегающих наноразмерных легированных слоев в кремнии. Способ создания мелко залегающих нанор...
2523732