ФЮСЕНЖЕ,Александр (CH)

Изобретение относится к области изготовления металлических микроструктур с применением технологии LIGA - литография, гальванопластика и формовка. Способ включает следующие этапы: на проводящую подложку наносят слой фоточувствительной смолы, сглаживают поверхность слоя смолы до получения требуемой толщины, облучают слой смолы через маску, растворяют незаполимеризовавшиеся участки слоя смолы, пров...