PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Савватеева Анна Сергеевна (RU)

Изобретатель Савватеева Анна Сергеевна (RU) является автором следующих патентов:

Способ формирования защитного покрытия на основе пленки некристаллического углерода

Способ формирования защитного покрытия на основе пленки некристаллического углерода

Изобретение относится к способу формирования защитного покрытия в виде пленки некристаллического углерода и может быть использовано в микро- и радиоэлектронной промышленности при изготовлении защитных покрытий полупроводниковых и оптических приборов. На полупроводниковой подложке формируют защитное покрытие методом импульсной конденсации электроэрозионной дуговой углеродной плазмы с энергией...

2530224